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真空镀膜设备


我们致力于薄膜技术开发、真空工艺设备研发、溅射靶材制造和相关服务,包括镀膜打样、膜系开发等。主要的业务为设计和组装薄膜沉积设备,我们建设的先进装备制造线包括枚叶式设备(FHR.Star系列)、⿎式镀膜设备(FHR.Boxx系列)、⾼镀膜效率的连续式镀膜设备(FHR.Line系列)、以及⼤型的创新式卷对卷镀膜设备(FHR.Roll系列)。应用于薄膜太阳能电池、新型显示、汽车、MEMS传感器、光学、滤波器和装饰等领域。


我们可以为您的真空镀膜设备提供技术支持、技术培训、预防性维护、备件/磨损件、资格认证、技术评估,例如帮您判断现有系统的运作状况。我们还可以为您的机器(甚至是第三方系统)提供搬迁、升级和现代化(改造)服务。

枚叶式设备(FHR.Star系列)

枚叶式设备(FHR.Star系列)

●应用于小规模、试生产或研发领域,适于硅片类基材表面沉积、去除或改性的工艺设备
●基于灵活的模块化设计理念
●可整合多种技术工艺
●标准用于半导体硅片处理
鼓式镀膜设备(FHR.Boxx系列)

鼓式镀膜设备(FHR.Boxx系列)

●适于小批量生产的单腔室溅射设备
●适于三维基材以及面积最大200 x 200 mm²的平面基材
●用于多层膜组沉积的磁控溅射设备
●配置等离子刻蚀基片预处理工艺
高镀膜效率的连续式镀膜设备(FHR.Line系列)

高镀膜效率的连续式镀膜设备(FHR.Line系列)

●工业级生产设备、高产能试验线或研发型设备
●单向或双向(往复)基片传输方式
●支持正面和背面同时镀膜
●可集成多种工艺技术
●可选立式或卧式设计
大型的创新式卷对卷镀膜设备(FHR.Roll系列)

大型的创新式卷对卷镀膜设备(FHR.Roll系列)

●研发和生产领域柔性电子和薄膜太阳能电池膜层制备
●配备边缘控制功能的精确机械卷绕装置
●制备柔性薄膜太阳能电池、隔热膜和印刷电路版
●免触式设计避免与正面膜层直接接触
●适于便携、轻便及柔性应用领域
FHR.Star-EOSS®精密光学

FHR.Star-EOSS®精密光学

●适于高精密光学膜层沉积的工业级磁控溅射设备
●基材表面绝佳的膜厚均匀性
●向上溅射型构造保障膜层低杂质含量
●应用旋转靶材延长靶材服役寿命
原子层沉积设备

原子层沉积设备

●ALD – 原子层沉积
●循环CVD工艺
●精确控制高保形膜层的膜厚
●适于半导体电子和光学领域

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