我们提供高纯/特气工程等综合的气路系统解决方案,包括气源及供气系统工程、切换装置、管道系统、调压装置、用气点、气体泄露监测报警系统等气路一站式系统解决方案。
先导科技集团依托近30年在陶瓷材料、超精密加工、表面处理、传感器等方面的技术能力,在气路系统的组建、应用和测试方面有丰富的经验,致力于成为世界领先的半导体气路解决方案提供商。
我们提供高纯/特气工程等综合的气路系统解决方案,包括气源及供气系统工程、切换装置、管道系统、调压装置、用气点、气体泄露监测报警系统等气路一站式系统解决方案。
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