高纯度/耐腐蚀性好/快速的吸附和脱吸附响应速度/应用温度范围广
我们凭借成熟的设计和分析能力、高精度制造技术以及高标准的综合管理系统，为设备厂商提供高耐用度、高强度、高热导率和高抗热震性的静电卡盘。此类产品可在宽工作温度范围内的使用，广泛应用于等离子体环境。
高纯度/耐腐蚀性好/快速的吸附和脱吸附响应速度/应用温度范围广
蚀刻/化学气相沉积/次常压化学气相沉积
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