可以通过并通过对照表和压力降，实时、自动地监测、测量并控制气体流量，流量监控不受压力及温度变化影响。同时，我们的创新设计无限流孔，在提升控流精度的同时，降低了响应时间。
MFC是一种自动监测、测量和控制气体流量的紧凑型设备，由比例调节阀门、质量流量计和控制器（信号放大校准、PID控制与通讯电路）相结合的装置。我们的产品有独特的双阀设计，通过对照表和压力降来对流量进行实时监测和更正，可以应用在晶圆制程的沉积、蚀刻、清洗、离子注入、金属布线、扩散等工艺中。
可以通过并通过对照表和压力降，实时、自动地监测、测量并控制气体流量，流量监控不受压力及温度变化影响。同时，我们的创新设计无限流孔，在提升控流精度的同时，降低了响应时间。
在晶圆制程的沉积、蚀刻、清洗、离子注入、金属布线、扩散等工艺中，用于测量、控制制程气体的质量流量
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