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高纯材料
磷烷
CAS NO. 7803-51-2
化学式  PH3  
分子量  34.0  
纯度  6N  
包装规格  47L 钢瓶装(可根据客户要求提供其他规格)  
用途  磷烷是半导体器件制造中的重要N型掺杂源,同时磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延GaP材料、离子注人工艺、MOCVD工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。