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高纯材料
砷烷
CAS NO. 7784-42-1
化学式  AsH3  
分子量  77.93  
纯度  6N  
包装规格  47L 钢瓶装(可根据客户要求提供其他规格)  
用途  砷烷用于半导体工业中外延硅的n型掺杂;硅中n型扩散;离子注入;生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与III/V族元素形成化合物半导体。